Profilomètre Optique pour la R&D
Zeta-20
1. Polyvalence et Performance
2. Mesure Ponctuelle
3. Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
4. Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
5. Épaisseur de couches minces transparentes
Le Zeta-20 est un profilomètre optique entièrement intégré qui fournit une métrologie 3D et une capacité d'imagerie dans un boîtier compact et robuste. Le système est alimenté par la technologie ZDot ™, qui collecte simultanément des données 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. Le Zeta-20 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production avec une optique multi-mode, un logiciel facile à utiliser et un faible coût de possession.
Profilomètrie Optique
Applications en profilométrie optique
- Hauteur de marche: hauteur de marche 3D de nanomètres à millimètres
- Texture: rugosité 3D et ondulation sur des surfaces lisses à très rugueuses
- Forme: arc et forme 3D
- Contrainte: contrainte de film mince 2D
- Epaisseur du film: épaisseur du film transparent de 30 nm à 100 µm
- Inspection des défauts: capture des défauts supérieurs à 1µm
- Vérification des défauts: les fichiers KLARF sont utilisés pour rechercher des défauts afin de mesurer la topographie en surface 3D ou de localiser les défauts.
- Hauteur des marches
- Épaisseur du film
- Texture: rugosité et ondulation
- Forme: arc et forme
- Stress: le stress des couches minces
- Inspection automatisée des défauts
- Examen des défauts
- Cellules solaires photovoltaïques
- Emballage de semi-conducteurs et semi-conducteurs composés
- Circuit imprimé (PCB) et PCB flexible
- Ablation au laser
- Microfluidique
- Biotechnologie
- Stockage de données
Industries
- Solaire: cellules solaires photovoltaïques
- Semi-conducteur et semi-conducteur composé
- WLCSP à semi-conducteur
- FOWLP à semi-conducteurs (conditionnement au niveau des plaquettes ventilées)
- PCB (circuit imprimé) et PCB flexible
- MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
- Dispositifs médicaux et dispositifs microfluidiques
- Stockage de données
- Universités, laboratoires de recherche et instituts
Plus d'info sur les applications
- Science de surface
- Science des matériaux
- Cellules solaires
- Matériaux pour l'énergie
- Semi-conducteurs
- Polymères et Composites
- Rugosité de surface
- Revêtements
La profilométrie dédiée à l'industrie et la R&D
Le profileur optique de table Zeta-20 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot ™ et par une optique multimode qui permet de mesurer une variété d’échantillons: transparents et opaques, à réflectance faible à élevée, de texture lisse à rugueuse et de hauteurs de pas allant de quelques nanomètres à millimètres.
Le Zeta-20 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot ™ collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. D'autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste d'interférence de Nomarski et l'interférométrie en cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-20 est également un microscope haut de gamme pouvant être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-20 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production en fournissant des mesures complètes de la hauteur, de la rugosité et de l'épaisseur du film, ainsi que des fonctions d'inspection des défauts.
AVANTAGES
- Polyvalence et Performance
- Mesure Ponctuelle
- Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
- Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
- Épaisseur de couches minces transparentes
- Profileur optique facile à utiliser avec les optiques ZDot et multi-mode pour une vaste gamme d'applications
- Microscope de haute qualité pour l'examen des échantillons ou l'inspection des défauts
- ZDot: collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color
- ZXI: Interférométrie en lumière blanche pour les mesures de zones étendues avec une résolution z élevée
- ZIC: Contraste interférentiel pour les données 3D quantitatives de surfaces à rugosité inférieure au nanomètre
- ZSI: interférométrie en cisaillement pour les images à haute résolution z
- ZFT: l'épaisseur et la réflectance du film sont mesurées à l'aide d'un réflectomètre à large bande intégré
- AOI: Contrôle optique automatique pour quantifier les défauts sur l'échantillon
- Capacité de production: mesures entièrement automatisées avec séquençage et reconnaissance de formes
Options
ZFT: Epaisseur de film Zeta
Le Zeta-20 propose un spectromètre large bande intégré pour les mesures d'épaisseur de couche mince transparente de 30 nm à 100 µm. Il est capable de mesurer l'épaisseur d'un film d'empilement monocouche ou multicouche, l'utilisateur sélectionnant les valeurs d'indice de réfraction à partir de la bibliothèque de matériaux. L'épaisseur du film peut être cartographiée sur l'échantillon pour déterminer l'uniformité de l'échantillon.
ZFT fonctionne sur certaines des surfaces les moins réfléchissantes, telles que les cellules solaires dont le facteur de réflexion est inférieur à 0,1%. De nombreux outils d'épaisseur de film ont du mal à obtenir un signal de ce type de surfaces, car ils dépendent de la lumière réfléchie spéculaire pour calculer le changement de phase ou d'autres paramètres. La lumière blanche à large bande et l’éclairage à incidence normale permettent à l’outil d’être utilisé pour une variété de films optiquement transparents à faible réflectance.
ZXI: interférométrie à balayage vertical Zeta
Le Zeta-20 prend en charge l'interférométrie à balayage de phase (PSI) et l'interférométrie à balayage vertical (VSI) lorsqu'il est associé à la platine piézo et à un objectif interférométrique. Le PSI permet des mesures rapides de hauteurs de pas allant de angströms à des centaines de nanomètres. Le VSI permet de mesurer des hauteurs de pas de plusieurs centaines de nanomètres à plusieurs centaines de microns. Les deux sont effectués à une résolution meilleure que le nanomètre, indépendamment de l’ouverture numérique de l’objectif.
ZIC: contraste d'interférence Zeta
ZSI: Interféromètre à cisaillement Zeta
La technique de mesure par interféromètre de cisaillement Zeta-20 (ZSI) améliore la mesure de ZIC en ajoutant un changement de phase. Plusieurs images sont collectées avec différentes phases, puis traitées à l'aide d'algorithmes avancés pour générer une mesure quantitative de la topographie de surface avec une résolution au niveau angström. Cette technique ne nécessite pas d'objectifs interférométriques et ne comporte pas de balayage en phase Z, ce qui permet d'obtenir des mesures haute résolution allant de angströms à 80 nm.
Lentilles d'objectif
Une large gamme d'objectifs est disponible, comprenant des objectifs normaux de 1,25x à 150x, des objectifs de longue distance de travail, des objectifs de distance de travail ultra-longue, des objectifs corrigés pour l'indice de réfraction, des objectifs transmissifs, des objectifs d'immersion dans le liquide et des objectifs d'interférométrie à balayage vertical.
Coupleurs
Le Zeta-20 peut être configuré avec quatre coupleurs optiques différents pour modifier le grossissement optique. Le système peut être configuré avec le coupleur 1x pour conserver le grossissement natif ou avec des coupleurs 0,35x, 0,5x ou 0,63x pour augmenter le grossissement.
Tourelle à objectif
Le Zeta-20 peut être configuré avec une tourelle manuelle à 5 ou 6 positions et un capteur d'objectif pour l'identification automatique des objectifs. Le système peut également être configuré avec une tourelle motorisée à 6 positions pour un fonctionnement entièrement automatisé.
Échantillon d'éclairage
Le Zeta-20 utilise deux DEL blanches haute luminosité comme éclairage standard. Le rétroéclairage à travers le mandrin est également disponible pour améliorer la lumière dans le cas d'échantillons transparents difficiles. Le Zeta-20 prend également en charge l'éclairage de fond noir de côté.
Stages
Le Zeta-20 peut être configuré avec différentes stages pour améliorer les performances du système. Un stage piézoélectrique d'axe Z peut être ajouté pour améliorer la résolution Z lors de la mesure de hauteurs de pas nanométriques avec les modes de mesure ZDot ou ZXI. Le plateau en Z peut être monté sur un pivot afin de permettre la rotation de la tête autour de l'échantillon pour modifier l'angle d'incidence sur la surface. La platine XY peut être configurée avec une course manuelle de 100 ou 300 mm ou motorisée de 150 ou 200 mm. Une platine rotative manuelle peut être ajoutée à la platine XY. Un stage manuelle de basculement et d'inclinaison peut être ajoutée pour mettre à niveau la scène pour les mesures interférométriques.
Platine échantillon
Le Zeta-20 dispose d'une gamme de platines disponibles pour répondre aux besoins des applications. Les échantillons solaires nécessitent un mandrin d'échantillonnage de 156 mm ou une platine d'extrémité solaire pour incliner l'échantillon afin de mesurer le bord. Des platines de rétroéclairage sont disponibles pour les substrats transparents prenant en charge l'éclairage transmis. Une platine de plaquette de 300 mm est disponible.
Tables d'isolation
Le Zeta-20 a des pieds d'isolation passive intégrés à la base du système. Si une isolation supplémentaire est requise, des tables d'isolation de table passives et actives sont disponibles.
Normes de hauteur de marche et d'épaisseur de film
Le Zeta-20 utilise les normes de hauteur de marche traçables NIST à couche mince et à couche épaisse proposées par les normes VLSI. Les normes comportent une marche en quartz gravé avec un revêtement en chrome. Une plage de hauteur de pas de 8 nm à 250 µm est disponible.
Une norme en plusieurs étapes certifiée disponible a des hauteurs de marche nominales de 8, 25, 50 et 100 µm. La norme comporte divers modèles de hauteur pour l’étalonnage XY. Une norme d'épaisseur de film certifiée est disponible pour ZFT. Elle comprend une surface de silicium de référence et une épaisseur nominale de film de dioxyde de silicium de 270 nm. Des échantillons de rugosité et de miroir de référence sont également disponibles.
Logiciel de séquençage automatisé
Le logiciel de séquençage automatique utilise la platine XY motorisée pour permettre à l'utilisateur de programmer les emplacements de mesure sur l'échantillon. Le système mesurera automatiquement chaque site et enregistrera les résultats dans des dossiers définis par l'utilisateur. Un rapport de sortie avec des exemples de statistiques est généré pour résumer les résultats.
Le logiciel de séquençage avancé inclut la reconnaissance de formes pour aligner automatiquement l'échantillon. Cela permet des mesures entièrement automatisées, réduisant l'impact de l'erreur de l'opérateur. L'étalonnage automatique peut également être activé lors de l'utilisation de normes intégrées sur la scène.
Logiciel d'assemblage
Le logiciel d'assemblage d'images automatisé utilise la platine XY motorisée pour combiner des numérisations adjacentes afin de générer un jeu de données assemblé plus grand qu'un seul champ de vision. Le système mesure automatiquement chaque site, aligne les images et les combine en un seul jeu de données. Les résultats peuvent être analysés comme n'importe quel autre fichier de résultats.
Logiciel d'analyse Apex
Le logiciel d’analyse Apex améliore la capacité d’analyse de données standard de l’outil avec une suite étendue de techniques d’analyse de nivellement, de filtrage, de hauteur de pas, de rugosité et de topographie de surface. Apex prend en charge les méthodes de calcul de rugosité ISO ainsi que les normes locales telles que ASME. Apex sert également de plate-forme de rédaction de rapports avec la possibilité d'ajouter du texte, des annotations et des critères de réussite / échec. Apex est proposé en huit langues.
Logiciel d'analyse hors ligne
Le logiciel hors ligne Zeta-20 a la même capacité d'analyse de données et de création de recette que l'outil. Cela permet à l'utilisateur de créer des recettes et d'analyser des données sans utiliser de temps précieux.
Contactez-nous pour plus d'informations sur ce produit
Vous souhaitez un devis ?
Des informations complémentaires ?
Nous vous répondrons dans un délai de 24h