Profilomètre optique automatisé, grand échantillon
Zeta-388
1. Pour l'industrie
2. Mesure Automatisée
3. Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
4. Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
5. Épaisseur de couches minces transparentes
Le Zeta-388 offre une capacité de métrologie et d'imagerie 3D, combiné à une table d'isolation intégrée et à un système de traitement de plaquette de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie ZDot ™, qui collecte simultanément des données 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. Le Zeta-388 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production avec une optique multimode, un logiciel facile à utiliser, un faible coût de possession et des communications SECS / GEM.
Applications en profilométrie optique
- Hauteur de marche: hauteur de marche 3D de nanomètres à millimètres
- Texture: rugosité 3D et ondulation sur des surfaces lisses à très rugueuses
- Forme: arc et forme 3D
- Contrainte: contrainte de film mince 2D
- Epaisseur du film: épaisseur du film transparent de 30 nm à 100 µm
- Inspection des défauts: capture des défauts supérieurs à 1µm
- Vérification des défauts: les fichiers KLARF sont utilisés pour rechercher des défauts afin de mesurer la topographie en surface 3D ou de localiser les défauts.
- Hauteur des marches
- Épaisseur du film
- Texture: rugosité et ondulation
- Forme: arc et forme
- Stress: le stress des couches minces
- Inspection automatisée des défauts
- Examen des défauts
- Cellules solaires photovoltaïques
- Emballage de semi-conducteurs et semi-conducteurs composés
- Circuit imprimé (PCB) et PCB flexible
- Ablation au laser
- Microfluidique
- Biotechnologie
- Stockage de données
Industries
- LED: diodes électroluminescentes et PSS (substrats saphir à motifs)
- Semi-conducteur et semi-conducteur composé
- WLCSP à semi-conducteur
- FOWLP à semi-conducteurs (conditionnement au niveau des plaquettes ventilées)
- PCB (circuit imprimé) et PCB flexible
- MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
- Dispositifs médicaux et dispositifs microfluidiques
Plus d'info sur les applications
- Science de surface
- Science des matériaux
- Cellules solaires
- Matériaux pour l'énergie
- Semi-conducteurs
- Polymères et Composites
- Rugosité de surface
- Revêtements
La profilométrie optique automatisée
pour grand échantillon
Le Zeta-388 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot ™ collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. D'autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste d'interférence de Nomarski et l'interférométrie en cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-388 est également un microscope haut de gamme pouvant être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-388 prend en charge la R & D et les environnements de produits en fournissant des mesures complètes de hauteur, de rugosité et d'épaisseur de film, une capacité d'inspection des défauts et une manipulation cassette à cassette.
AVANTAGES
- Pour l'industrie
- Mesure Automatisée
- Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
- Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI
- Épaisseur de couches minces transparentes
- Profileur optique facile à utiliser avec les optiques ZDot et multi-mode pour une vaste gamme d'applications
- Examen d'échantillons de microscope ou inspection de défauts de haute qualité
- ZDot: collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color
- ZXI: Interférométrie en lumière blanche pour les mesures de zones étendues avec une résolution z élevée
- ZIC: Contraste interférentiel pour les données 3D quantitatives de surfaces à rugosité inférieure au nanomètre
- ZSI: interférométrie en cisaillement pour les images à haute résolution z
- ZFT: l'épaisseur et la réflectance du film sont mesurées à l'aide d'un réflectomètre à large bande intégré
- AOI: Contrôle optique automatique pour quantifier les défauts sur l'échantillon
- Capacité de production: mesures entièrement automatisées avec séquençage et reconnaissance de formes
- Manipulateur de plaquettes: chargez automatiquement des échantillons opaques (silicium, par exemple) et transparents (saphir, par exemple), de 50 à 200 mm de diamètre.
Options
ZFT: Epaisseur de film Zeta
ZFT fonctionne sur certaines des surfaces les moins réfléchissantes, telles que les échantillons dont le facteur de réflexion est inférieur à 0,1%. De nombreux outils d'épaisseur de film ont du mal à obtenir un signal de ce type de surfaces, car ils dépendent de la lumière réfléchie spéculaire pour calculer le changement de phase ou d'autres paramètres. La lumière blanche à large bande et l’éclairage à incidence normale permettent à l’outil d’être utilisé pour une variété de films optiquement transparents à faible réflectance.
ZXI: interférométrie à balayage vertical Zeta
Le Zeta-388 prend en charge l'interférométrie à balayage de phase (PSI) et l'interférométrie à balayage vertical (VSI) lorsqu'il est associé à la platine piézo et à un objectif interférométrique. Le PSI permet des mesures rapides de hauteurs de pas allant de angströms à des centaines de nanomètres. Le VSI permet de mesurer des hauteurs de pas de plusieurs centaines de nanomètres à plusieurs centaines de microns. Les deux sont effectués à une résolution meilleure que le nanomètre, indépendamment de l’ouverture numérique de l’objectif.
ZIC: contraste d'interférence Zeta
ZSI: Interféromètre à cisaillement Zeta
Lentilles d'objectif
Une large gamme d'objectifs est disponible, comprenant des objectifs normaux de 1,25x à 150x, des objectifs de longue distance de travail, des objectifs de distance de travail ultra-longue, des objectifs corrigés pour l'indice de réfraction, des objectifs transmissifs, des objectifs d'immersion dans le liquide et des objectifs d'interférométrie à balayage vertical.
Coupleurs
Tourelle à objectif
Le Zeta-388 peut être configuré avec une tourelle manuelle à 5 ou 6 positions et un capteur d'objectif pour l'identification d'objectif automatique. Le système peut également être configuré avec une tourelle motorisée à 6 positions pour un fonctionnement entièrement automatisé.
Échantillon d'éclairage
Stages
Platine échantillon
Le Zeta-388 propose une gamme de platines disponibles pour répondre aux exigences des applications pour les échantillons de 50 à 200 mm, y compris des platines pour soutenir des plaquettes à archet. Des platines de rétroéclairage sont disponibles pour les substrats transparents afin de prendre en charge l'éclairage transmis, requis pour les substrats en saphir à motifs.
Tables d'isolation
Le Zeta-388 possède une isolation passive intégrée à la base du système. Pour les applications nécessitant une meilleure isolation, une table d'isolation active est disponible. Le Zeta-388 dispose d'une enceinte acoustique standard pour isoler le système du bruit ambiant et pour protéger l'utilisateur des mouvements du gestionnaire d'échantillons.
Normes de hauteur de marche et d'épaisseur de film
Le Zeta-388 utilise les normes de hauteur de marche traçables NIST en couches minces et épaisses proposées par les normes VLSI. Les normes comportent une marche en quartz gravé avec un revêtement en chrome. Une plage de hauteur de pas de 8 nm à 250 µm est disponible.
Une norme en plusieurs étapes certifiée disponible a des hauteurs de marche nominales de 8, 25, 50 et 100 µm. La norme comporte divers modèles de hauteur pour l’étalonnage XY. Une norme d'épaisseur de film certifiée est disponible pour ZFT. Elle comprend une surface de silicium de référence et une épaisseur nominale de film de dioxyde de silicium de 270 nm. Des échantillons de rugosité et de miroir de référence sont également disponibles.
Logiciel de séquençage automatisé
Le logiciel de séquençage automatique utilise la platine XY motorisée pour permettre à l'utilisateur de programmer les emplacements de mesure sur l'échantillon. Le système mesurera automatiquement chaque site et enregistrera les résultats dans des dossiers définis par l'utilisateur. Un rapport de sortie avec des exemples de statistiques est généré pour résumer les résultats.
Le logiciel de séquençage avancé inclut la reconnaissance de formes pour aligner automatiquement l'échantillon. Cela permet des mesures entièrement automatisées, réduisant l'impact de l'erreur de l'opérateur. L'étalonnage automatique peut également être activé lors de l'utilisation de normes intégrées sur la scène.
Logiciel d'assemblage
Le logiciel d'assemblage d'images automatisé utilise la platine XY motorisée pour combiner des numérisations adjacentes afin de générer un jeu de données assemblé plus grand qu'un seul champ de vision. Le système mesure automatiquement chaque site, aligne les images et les combine en un seul jeu de données. Les résultats peuvent être analysés comme n'importe quel autre fichier de résultats.
Logiciel d'analyse Apex
Le logiciel d’analyse Apex améliore la capacité d’analyse de données standard de l’outil avec une suite étendue de techniques d’analyse de nivellement, de filtrage, de hauteur de pas, de rugosité et de topographie de surface. Apex prend en charge les méthodes de calcul de rugosité ISO ainsi que les normes locales telles que ASME. Apex sert également de plate-forme de rédaction de rapports avec la possibilité d'ajouter du texte, des annotations et des critères de réussite / échec. Apex est proposé en huit langues.
Logiciel d'analyse hors ligne
Le logiciel hors ligne Zeta-388 possède la même capacité d'analyse des données et de création de recettes que l'outil. Cela permet à l'utilisateur de créer des recettes et d'analyser des données sans utiliser de temps précieux.
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