Microscope DHM – Science des matériaux
DHM Série R
1. Balayage non contact
2. Profilométrie 3D à une vitesse inégalée
3. Analyse MEMS, jusqu'à 25 MHz
4. Mesurer dans des conditions environnementales contrôlées
5. Mesurer la topographie de motifs transparents
Les séries Reflection DHM (DHM®-R1000, DHM®-R2100 et DHM®-R2200) sont des microscopes holographiques configurés en réflexion. Ils sont idéaux pour mesurer des objets totalement ou partiellement réfléchissants. Leur capacité à travailler avec des interfaces à faible réflexion (moins de 1% de réflectivité) en fait des instruments idéaux pour des mesures topographiques optiques précises sur une grande variété d'échantillons.
- Série R-1000: source laser unique
- Série R-2100: sources laser doubles
- Série R-2200: trois sources laser
Mesures dynamiques
Applications
Topographie dynamique
- Tribologie 4D
- Micro-plaque
- «Centre d'apprentissage Rolex»
- Déformation de la membrane
- Smart Polymer
- Électrochimie
- Interface liquide
- Auto-assemblage
- Montre oscillateur
MEMS
- Microphone MEMS
- Capteurs inertiels
- Actionneur MEMS
- MEMS Cantilevers
- MEMS optique
- Transducteurs à ultrasons
- SAW - Ondes acoustiques de surface
Topographie de surface
- Hauteur de marche standard
- Topographie fluide
- Micro-optique
- Film mince structuré
- Analyse de finition de surface
- Mesure de planéité
- Caractérisation de métasurface
- Inspection de défauts
- Contrôle de la qualité de la rugosité
- Examen de documents médico-légaux
- Niveau de la plaquette - mesure de la hauteur
Plus d'info sur les applications
- Topographie de surface
- Finition de surface
- Inspection des défauts
- Film mince structuré
- Mesure MEMS
Profilométrie 3D à une vitesse inégalée
DHM mesure la carte topographique 3D d’une surface avec une acquisition unique, sans aucun mécanisme de balayage requis. Il fournit une acquisition rapide imbattable, à une cadence de jusqu'à 1000 images par seconde, permettant:
- Etude du comportement dynamique 3D d'échantillons déformables
- Écran rapide et analyse de grandes surfaces
- Inspections de routine avec une productivité élevée
- Capture de topographies 3D sur la chaîne de production,
sans arrêter l'échantillon
Analyse MEMS, jusqu'à 25 MHz
L'unité stroboscopique optionnelle synchronise le DHM® mesures avec le signal d'excitation d'un dispositif MEMS.
L'analyse de cet ensemble unique de données fournit:
- Séquence chronologique des topographies 3D
- Résonances de fréquence et réponses
- Amplitude de vibration avec résolution de 17h pour hors-plan et 1 nm pour les déplacements dans le plan
- Caractérisation de mouvements complexes et d'échantillons
géométries, y compris en présence de trous
Mesurer dans des conditions environnementales contrôlées
La configuration optique unique de DHM permet l'utilisateur de mesurer avec une qualité optique optimale:
- À travers le verre et les liquides d'immersion
- à l'intérieur des chambres de l'environnement et à vide, sous température contrôlée, humidité, composition de pression ou de gaz
Mesurer la topographie de motifs transparents
L'analyse DHM Reflectometry en option
Le logiciel permet de mesurer:
- Topographie de structures transparentes
- Valeurs d'épaisseur et d'indice de réfraction de multicouches structurées avec des épaisseurs allant de 10 nanomètres à des dizaines de microns
- Topographie de matériaux mous et de liquides
La microscopie holographique numérique (DHM) est une technologie brevetée. Il enregistre, avec une caméra numérique, les hologrammes produits par les interférences entre le faisceau réfléchi par l'échantillon et un faisceau de référence généré à l'intérieur du microscope. Les hologrammes sont traités numériquement pour reconstruire une carte optique 3D du spécimen. L'étalonnage vertical de DHM est intrinsèquement défini par la longueur d'onde du laser. Il fournit des données et des mesures reproductibles et de haute précision avec une résolution interférométrique, c'est-à-dire une résolution verticale subnanométrique, ainsi qu'une résolution latérale limitée par le choix de l'objectif du microscope. Grâce au traitement numérique avancé de l'hologramme enregistré, une mise au point nette peut être effectuée simultanément ou après la mesure, en post-traitement sans réglage manuel de la hauteur de l'échantillon.
AVANTAGES
- Balayage non contact
- Profilométrie 3D à une vitesse inégalée
- Analyse MEMS, jusqu'à 25 MHz
- Mesurer dans des conditions environnementales contrôlées
- Mesurer la topographie de motifs transparents
Spécifications
Spécifications de la série R
| R1000 | R2100 | R2200 | |
| Configuration | One laser source | Two laser sources | Three laser sources |
| Specificity | Single wavelength | Short synthetic wavelength | Short and large synthetic wavelengths |
| Measurement modes | Single wavelength | Single and dual wavelength | Single and dual wavelength |
| Accuracy (as demonstrated by taking the temporal standard deviation on 1 pixel over 30 measurements) | 0.15 nm | 0.15 / 3.0 nm * | 0.15 / 3.0 nm / 20 nm * |
| Vertical resolution (defined as twice the accuracy) | 0.30 nm | 0.30 / 6.0 nm * | 0.30 / 6.0 nm / 40 nm * |
| Repeatability (as demonstrated by taking the one sigma Rq value of 30 repeatability measurements on SiC reference mirror) | 0.01 nm | 0.01 / 0.1 nm * | 0.01 / 0.1 nm / 0.5 nm * |
| Vertical measuring range (without any scanning) |
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| Max. height of steps with sharp edges (Depends on the laser source(s) and operating wavelength(s) |
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* With / Without single wavelength mapping
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