Cartographie d’épaisseur de couches-minces dédiée à la production
F60
1. Dédié à la production
2. Automatisé
3. Rapide
4. Personnalisable
La famille F60-t cartographie l'épaisseur et l'indice du film tout comme nos produits F50, mais elle comprend également un certain nombre de fonctionnalités destinées spécifiquement aux environnements de production. Il s'agit notamment de la recherche automatique d'entaille, de la ligne de base, d'une platine de mesure fermée avec verrouillage de mouvement et d'un ordinateur industriel avec logiciel préinstallé.
- Série F50 : Meilleur rapport qualité/prix - évolutif. Plus d'info >
- Série F54 : échantillon jusqu'à 450mm de diamètre. Plus d'info >
- Série F54-XY-200mm : platine de déplacement XY rapide et précise - capot de protection acoustique - Production Plus d'info >
Applications
FABRICATION SEMI-CONDUCTEUR
-
Photorésist
-
Oxydes
-
Nitrure
-
Polysilicium
AFFICHAGES EN CRISTAL LIQUIDE
- Lacunes cellulaires
- Polyimide
REVÊTEMENTS OPTIQUES
- Revêtements de dureté
- Revêtement antireflet
- Filtres
Plus d'info sur les applications
- Diélectriques
- Épaisseur dure
- Analyse d'échec IC
- ITO et autres TCO
- Équipement médical
- Épaisseur du métal
- Microfluidique
- OLED
- Revêtements ophtalmiques
- Parylene Coatings
- Photoresist
- Silicium poreux
- Films de traitement
- Indice de réfraction & k
- Plaquettes et membranes de silicium
- Applications solaires
- Laboratoires d'enseignement sur les semi-conducteurs
- Rugosité et finition de surface
Cartographie d’épaisseur de couches-minces dédiée à la production
L'épaisseur de la couche mince et les n & k sont cartographiés rapidement et facilement avec le système de réflectance spectrale avancé F60. La platine R-Theta motorisée se déplace automatiquement vers les points de mesure sélectionnés et fournit des mesures d'épaisseur en quelques secondes. Choisissez l'un des dizaines de modèles de carte polaires, rectangulaires ou linéaires prédéfinis, ou créez le vôtre sans limite de nombre de points de mesure. Une carte typique en 49 points prend environ 45 secondes.
AVANTAGES
- Dédié à la production
- Automatisé
- Rapide
- Personnalisable
Accessoires
NIST-traceable thickness standard
F50 chuck - 100mm, 200mm, 300mm & 450mm
Specifications
Model Specifications
| Model | Thickness Range* | Wavelength Range |
|---|---|---|
| F60-t | 20nm - 70µm | 380-1050nm |
| F60-t-UV | 5nm - 40µm | 190-1100nm |
| F60-t-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
| F60-t-EXR | 20nm - 250µm | 380-1700nm |
| F60-t-UVX | 5nm - 250µm | 190-1700nm |
| F60-t-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
| F60-s980 | 4µm - 1mm | 960-1000nm |
| F60-t-s1310 | 7µm - 2mm | 1280-1340nm |
| F60-t-s1550 | 10µm - 3mm | 1520-1580nm |
*film stack dependent
Thickness Range*
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