Microscopes électroniques à balayage de table
Série EM-30-N
1. Interface utilisateur intuitive
2. Fonctions automatiques
- Support échantillon motorisé selon 3 axes (X, Y, T)
- Mise au point automatique, contraste, luminosité, alignement du canon à électron
3. Taille maximum d'échantillon jusqu'à 70mm en diamètre et 45mm en hauteur
4. Grossissement de x20 à x150 000 (Résolution de 20nm à 30kV)
5. Remplacement rapide d’un échantillon en moins de deux minutes
Microscopes MEB de table, Solutions d’imagerie à faible coût
- Le microscope MEB EM-30N serait la meilleure solution à bas coût pour analyser vos échantillons. Le MEB de table EM-30 permet l’acquisition de manière très simple d’images nettes avec une haute profondeur de champ. (BSE et EDS en option)
- Le microscope électronique à balayage EM-30 Plus offre la meilleure résolution spatiale ainsi que la plus grande facilité d’utilisation du marché. Le MEB de table EM-30 Plus offre la solution la plus adaptée pour l’acquisition d’images à haute résolution. (BSE en standard)
- Le microscope de table EM-30AX peut implémenter des fonctions de microscopie électronique à balayage et d'analyse élémentaire en même temps. (EDS en standard)
L'analyseur élémentaire EDS offre des fonctionnalités pratiques et une grande fiabilité. De plus, en tant que dispositif intégré, il permet une réduction des coûts. - Le microscope électronique à balayage de table EM-30AX Plus propose la plus haute résolution spatiale et la plus grande facilité d’utilisation du marché. De plus, son porte échantillon spécial permet aux utilisateurs d'observer jusqu'à 7 échantillons en même temps. L’ensemble de ces paramètres font de ce MEB de table une solution complète et adaptée à vos besoins. (BSE et EDS en standard)
Microscopie Électronique à balayage
TROP DE CHOIX ?
On vous aide à choisir le meb qui correspond à vos besoins !
Dans ce guide, "Comment Bien Choisir Son Microscope MEB de Table", vous allez découvrir tous les conseils et astuces nécessaires pour choisir le microscope électronique à balayage le plus adapté à votre application.
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Applications de la Microscopie Électronique à Balayage
Les applications comprennent aussi bien le processus de défaut, l’analyse dimensionnelle, le processus de caractérisation, la rétro ingénierie que l’identification de particule... c’est pourquoi les domaines d’applications sont multiples et très larges :
- Sciences de la vie
- Microbiologie
- Alimentation / Sciences de l'environnement
- Plantes et animaux
- Médecine / Pharmaceutique
- Corps humain
- La science des matériaux
- Chimie
- Automobile
- Construction
- Smartphones
- Energie
- Semi-conducteurs et électronique
- Métaux
Mosquito stinger
Nanotubes 80000x
Silicon wafer 2
X2-5
3-4
Cosmetic patch
Etch-500x
Etch-3000x
Plus d'info sur les applications
- Distance de travail
- Haute résolution
- Mode SE + ESB
- Mode sous vide
- Tension d'accélération
- Angle d'inclinaison
- Application de Coolstage
- Application de Panorama Shot
- Application du logiciel de topographie 3D
- Application de la microscopie électronique à balayage en transmission (STEM)
- Application de l'EDS
- Analyse cartographique
- Cartographie à grande échelle
- Analyse des résidus de coups de feu (GSR)
- Analyse multicouche
- Analyse cartographique minérale
La Microscopie Électronique à Balayage
haute résolution à faible coût
La série EM-30N est un microscope électronique à balayage de table (MEB) haut de gamme, doté de spécifications et de capacités allant au-delà de tout autre SEM dans sa gamme de prix. Après avoir évalué le EM-30 Plus (tungstène) ou le nouveau EM-30 LE (CeB6), votre recherche sera terminée pour trouver le meilleur MEB compact. Chaque modèle MEB est également disponible dans un modèle compagnon EM-30AX qui intègre une micro-analyse EDS intégrée.
Le microscope électronique à balayage de table série EM-30N est le seul MEB de table disponible avec des sources électroniques au tungstène ou CeB6.
Les sources de filaments de tungstène ont des coûts de fonctionnement inférieurs et sont faciles à échanger par l'utilisateur en moins de 10 minutes. Les filaments de tungstène durent environ 100 heures, tandis que les sources de CeB6 ou d’hexaboride de cérium durent environ 1500 heures, en fonction de leur utilisation. Les sources CeB6 sont généralement remplacées par un technicien de maintenance formé en usine en raison des exigences de vide plus élevées imposant une approche plus rigoureuse de la propreté des surfaces d'étanchéité. Nos techniciens peuvent former les opérateurs désirant échanger leurs propres sources d'électrons CeB6, s'ils le souhaitent. Avec ScienTec, vous pouvez compter sur des conseils et des informations véridiques pour vous aider à choisir le système le mieux adapté à votre application.
Options avancées disponibles:
Analyse élémentaire EDS - Détecteur STEM - Phase de refroidissement - Table anti-vibration
Capacités d'imagerie
- Résolution : 5 nm à 20nm
- Grossissement : 100 000 à 150 000x
- Faisceau d'énergie : 1 - 30 kV
- Positionnement de l'échantillon : Auto XYT
- Détecteurs d'imagerie : Duo SE / BSE (en option)
AVANTAGES
- Support échantillon motorisé selon 3 axes (X, Y, T)
- Mise au point automatique, contraste, luminosité, alignement du canon à électron
- Taille maximum d'échantillon jusqu'à 70mm en diamètre et 45mm en hauteur
- Grossissement de x20 à x100 000 (Résolution de 20nm à 30kV)
- Remplacement rapide d’un échantillon en moins de deux minutes
- Distance de travail
- Haute résolution
- Mode SE + ESB
- Mode sous vide
- Tension d'accélération
- Angle d'inclinaison
- Application de Coolstage
- Application de Panorama Shot
- Application du logiciel de topographie 3D
- Application de la microscopie électronique à balayage en transmission (STEM)
- Application de l'EDS
- Analyse cartographique
- Cartographie à grande échelle
- Analyse des résidus de coups de feu (GSR)
- Analyse multicouche
- Analyse cartographique minérale
Imagerie SE (secondaire électronique) et BSE (rétrodiffusion électronique)
Capture d'images avec des détails de surface et topographiques (SE) ou un contraste de poids atomique (BSE)
Combinez les deux signaux de détecteur d'imagerie pour obtenir une image composite représentant à la fois la variation de poids topographique et atomique
Fonctions fonctionnelles et conviviales
LOGICIEL NANOSTATION
Le logiciel NanoStation offre à l'utilisateur novice une interface simple et propre, sans encombrement, tandis que l'utilisateur plus avancé peut facilement accéder à des fonctionnalités permettant un contrôle accru des fonctions du microscope. Avec le logiciel intuitif, les utilisateurs peuvent visualiser et enregistrer des images rapidement et facilement avec beaucoup de détails.
L'utilisateur peut sélectionner une disposition de porte-échantillon standard en bas à gauche ou utiliser la «NavCam» numérique pour capturer une image de l'échantillon ou du support à utiliser pour la navigation dans les macros. Dans le coin supérieur gauche de l'interface, la mini-carte est une image collectée au plus faible grossissement souhaité pour le champ de vision ou la zone d'intérêt. Lorsque l'utilisateur navigue vers un autre emplacement sur l'échantillon et à des grossissements plus élevés, l'emplacement de la vue actuelle est indiqué sur la mini carte (rectangle jaune).
Toutes les commandes «à glissière» peuvent être facilement ajustées à l’aide de diverses techniques: glisser l’indicateur, utiliser la molette de la souris, un bouton +/-, le clavier et certaines fonctions de réglage «auto».
En plus des raccourcis clavier préférés par les utilisateurs avancés pour certaines fonctions telles que la mise au point, le logiciel permet d’accéder facilement à tous les réglages du microscope et de l’imagerie par clic de souris ou molette de la souris. Tous les groupes de contrôle de fonction sont intelligemment organisés sur l'interface logicielle. Les paramètres les moins courants, généralement définis en fonction des préférences de l'utilisateur, sont invisibles dans les fenêtres secondaires.
LA NAVIGATION
Les MEB de table de la série EM-30N comprennent une variété d’exemples d’outils de navigation destinés à aider les nouveaux utilisateurs ainsi que les utilisateurs expérimentés. Une «NavCam» numérique peut être utilisée pour capturer une image et / ou un porte-échantillon, qui est ensuite placé dans la zone de carte d'échantillon de l'interface graphique du logiciel. La NavCam est standard sur l’EM-30 LE et en option sur l’EM-30 Plus. Alternativement, une variété de présentations multi-échantillons peut être sélectionnée dans un menu déroulant qui est utilisé de manière pratique pour passer d'un échantillon à un autre.
Il est très simple de naviguer dans différents échantillons ou dans différentes zones d’un échantillon en utilisant toute une gamme de commandes pour répondre aux préférences de chaque utilisateur.
- Cliquez avec la souris sur n'importe quel échantillon de l'image NavCam ou sur la carte du titulaire de l'échantillon pour accéder à cet échantillon.
- Cliquez avec la souris sur une entité observée dans la mini-carte pour centrer le rayon sur cette entité.
- Cliquez n'importe où dans la plus grande image numérisée pour déplacer ce point vers le centre du faisceau
- Utilisez le joystick fourni (illustré à droite) pour «conduire» la scène dans n’importe quelle direction, effectuer un zoom avant / arrière ou ajuster la mise au point.
- Les touches fléchées du clavier permettent de piloter la scène ou l'image vers la gauche / droite et vers le haut / bas.
- Les coordonnées X-Y des entités connues peuvent également être entrées pour diriger le faisceau vers ces coordonnées
- À très fort grossissement, les curseurs Beam Shift du logiciel sont utilisés pour faire des micro et nano mouvements
POSITIONNEMENT ÉCHANTILLON
Les microscopes électroniques à balayage de bureau de la série EM-30N sont livrés avec un étage standard à 3 axes motorisés pour X / Y et Tilt. La distance de travail ou «Z» est très facile à définir avant la fermeture de la chambre et évite les collisions accidentelles en l'absence d'un axe Z externe.
La fonction Tilt est extrêmement utile pour examiner la topographie d’échantillons plats. La fonction d'inclinaison est complexe, de sorte que l'axe X est ajusté pendant l'inclinaison pour maintenir la région d'intérêt de l'échantillon dans le champ de vision. La fonction d'inclinaison compucentrique offre plus de polyvalence et de gain de temps grâce à son utilisation plus facile, en particulier pour les utilisateurs inexpérimentés.
EXEMPLE DE PRÉSENTATION
Le montage des échantillons s’effectue facilement à l’aide de divers porte-échantillons fournis, qui permettent l’utilisation de broches standard de différentes tailles. Le support standard à broches multiples (illustré à droite) permet de monter facilement jusqu'à 7 embouts de 6 mm de diamètre, 3 embouts de 12,7 mm ou 1 embout de 25 à 32 mm de diamètre. Le multi-support peut être facilement ajusté à la hauteur en Z à l'aide de la vis à molette latérale afin de recevoir des échantillons de grande taille ou d'autres supports tels que de petites pinces d'étau ou des supports de pré-inclinaison de divers fournisseurs - LINK.
Le type de porte-échantillon est sélectionné dans le logiciel qui présente une carte d'échantillons dans le coin inférieur gauche de l'interface, ce qui permet de passer facilement à différents échantillons sans perdre la trace de l'échantillon en cours de création d'image. Alternativement, la «NavCam» numérique peut être utilisée pour capturer une image de l'échantillon et / ou du support à insérer à cet endroit.
Des adaptateurs sont également fournis pour permettre la fixation de l'un de vos supports existants dotés d'un filetage M4. Si vous préférez des supports autres que des broches telles que des fixations de style Hitachi M4 ou des fixations de cylindre de style Jeol, notre personnel possède une expérience approfondie de l’adaptation de nombreux types de systèmes de montage pour les systèmes SEM. Veuillez donc faire appel à nous.
MODE PANORAMA - Capture d'image grand format
Le logiciel NanoStation 4.0 offre la possibilité de capturer des images haute résolution d'une zone plus grande en déplaçant automatiquement la scène pour capturer quelques images individuelles dans un motif en damier, qui sont ensuite automatiquement assemblées pour former une grande image de la taille d'un giga-pixel. . Vous pouvez également enregistrer les images individuelles en vue de leur téléchargement par lots dans un logiciel de traitement d’image tel que MIPAR ou ImageJ pour quantifier la taille des particules, les cellules, les fibres, la morphologie et plus encore.
Le processus de capture d’images de grande taille est assez simple et nécessite un seul menu pour la configuration. La progression des captures d'image est affichée dans la zone de mini-carte en haut à gauche.
Cette image plus grande en giga-pixels peut être utilisée à diverses fins, telles que l’impression d’une image haute résolution de la taille d’un mur, par exemple. Pour les circuits à semi-conducteurs, une seule image permet à l'analyste de faire un panoramique et un zoom sur une seule image dans un rôle d'inspection tel que l'analyse des défaillances.
DÉTECTEUR D'ÉLECTRONS DE BACKSCATTER (BSED)
Les microscopes électroniques à balayage (MEB) série EM-30N Plus sont livrés avec un détecteur d'électrons à rétrodiffusion de 4 quadrants pouvant être utilisé en mode COMPOSITION ou en mode TOPO. Le mode Composition est standard pour les images à contraste atomique, utile à la fois pour les mesures de métrologie et pour les EDS. Le mode Topo est une image synthétique créée en alternant les quadrants du détecteur. Cela peut être utile pour les images d’apparence topographique sur des échantillons plats avec inclinaison de l’échantillon.
Le détecteur d'ESB est également rétractable sans déconnexion - une caractéristique unique que l'on ne retrouve pas dans les autres SEM de table ou de bureau. Le détecteur d’ESB peut être pivoté de la pièce polaire SEM vers une position de stationnement. Cela permet un accès sans obstruction à des distances de travail plus courtes à l'aide du détecteur SE et à d'autres fins.
OUTILS DE METROLOGIE IMAGE
La métrologie ou les mesures d'image sont extrêmement flexibles et précises avec la série EM-30 de SEM. Un étalonnage étendu est effectué en usine à des grossissements multiples, des distances de travail, des énergies de faisceau et plus, entraînant des erreurs de mesure inférieures à 1%. Des rapports d’étalonnage détaillés accompagnent la documentation de chaque système, faisant de l’EM-30 Plus un outil précieux qui peut être facilement certifié et accepté dans votre flux de travail.
Le logiciel fournit un accès rapide à tous les outils de mesure courants tels que:
- Longueur
- Diamètre
- Surface (rectangle, cercle, polygone)
- Les angles
- Annotation
En outre, une fonction de balayage de lignes (illustrée à droite) peut être utilisée pour des mesures très détaillées et précises en utilisant la variation de la luminosité de chaque pixel pour déterminer avec précision le véritable emplacement des arêtes et des entités.
Modèles
Specifications MEB de table
De nombreux modèles de microscopes électroniques à balayage de tables sont disponibles :
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