Standards Calibration – Marche étalon

Standard-calibration

Nanuler Calibration Standard

Cette grille de calibration polyvalente est conçue pour l’étalonnage de microscopes AFM, MEB et les profilomètres optiques et mécaniques. Les caractéristiques comprennent les hauteurs des marches, les lignes, les grilles, la boîte de grossissement et les structures de mesure de structures. Les caractéristiques sont gravées dans SiO2 et Si et sont disponibles en option avec un revêtement métallique pour une réflectivité améliorée et des charges statiques réduites.

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Caractéristiques de la hauteur de marche

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Hauteur de marche

Cette structure de hauteur de marche en os de chien bien marquée a été créée pour offrir une fonctionnalité unique facilitant la localisation. Du SiO2 thermoformé précis et uniforme est utilisé pour des hauteurs de pas inférieures à 1 µm. Les étapes de silicium sont formées pour des caractéristiques de 5 à 25 µm.

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Boite de magnification

Quatre boîtes concentriques (hauteur de 2 µm, 5 µm, 10 µm et 50 µm) peuvent être utilisées pour vérifier le grossissement et la linéarité x-y. Ces structures peuvent être utilisées pour vérifier le grossissement dans une plage allant de quelques centaines à 50 000 fois dans les SEM.

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Réseaux

Il existe 4 configurations de réseau différentes avec des pas de 3 µm, 10 µm, 20 µm et 50 µm. Ces structures sont conçues pour l’étalonnage x-y des modèles AFM, SEM, TEM et Profilers.

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Grilles

Ces grilles peuvent être utilisées pour la mesure de la topographie de surface, de la rugosité et du grossissement avec la plupart des SPM et des profilomètres disponibles sur le marché. D'autres applications incluent les faisceaux de focalisation et la définition / vérification des hauteurs d'étage Z en observant la diffusion du faisceau.

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Structures à usages multiples

Ces réseaux de cercles, barres et carrés de hauteurs différentes (1 µm, 2 µm, 5 µm, 10 µm, 20 µm, 50 µm, 100 µm et 200 µm) peuvent être utilisés pour surveiller la taille du mouvement (XYZ) et fournissent une référence à différentes largeurs de trait.

Specifications

  • Step Material:  Si and SiO2
  • Nominal Step Heights:
    • SiO2 Steps: 100 nm, 200 nm, 500 nm and 1000 nm
    • Si Steps:  5 µm, 10 µm and 25 µm
  • Metal Coating: Cr coating (optional)
  • Traceability:  NIST calibrated Standards (Optional)
  • Die Size:  8.0 mm x 8.2 mm x 0.5 mm
  • Mounting Options:  On quartz substrate and metal disc

Listes

Step Height Description Step Type Metal Coating Mounted on Metal Disc Mounted on Quartz Substrate NIST Traceable Option
100 nm  100 nm SiO2 Step Height Reference SiO2
 100 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes
100 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc SiO2 Yes  

Yes
 100 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated SiO2 No
 100 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes Yes
100 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes  

Yes
200 nm  200 nm SiO2 Step Height Reference SiO2
 200 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes
200 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes
 200 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated SiO2 Yes No
 200 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes Yes
200 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes  

Yes
500 nm  500 nm SiO2 Step Height Reference SiO2
 500 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes
500 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes
 500 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated SiO2 Yes
 500 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes Yes
500 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes Yes
1 µm  1 µm SiO2 Step Height Reference SiO2
 1 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes
1 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc SiO2 No Yes Yes
 1 µm SiO2 Step Height Reference, metal coated SiO2 Yes
 1 µm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate SiO2 Yes Yes Yes
1 µm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc SiO2 Yes Yes Yes
5 µm  5 µm SiO2 Step Height Reference Si
 5 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate Si Yes Yes
10 µm  10 µm SiO2 Step Height Reference Si
 10 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate Si Yes Yes
30 µm  30 µm SiO2 Step Height Reference Si
 30 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate Si Yes Yes

 

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